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数据更新时间
2026-05-12
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SJ∕T 11637-2016
电子化学品 电感耦合等离子体质谱法通则
检测项目:杂质元素含量(锂、硼、钠、镁、铝、钾、钙、钛、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、锌、镓、锗、砷、铷、锶、锆、铌、钼、钌、铑、钯、银、镉、铟、锡、锑、钡、铈、铼、铱、铂、铊、铅、铋、铀)
检测对象:高纯试剂(盐酸、硝酸、氢氟酸、双氧水、硫酸及相关的混合溶液)
GB/T 37049-2018
电子级多晶硅中基体金属杂质含量的测定电感耦合等离子体质谱法
检测项目:基体金属杂质含量(铁、铬、镍、铜、锌、钠)
检测对象:电子级多晶硅
GB/T 24582-2023
多晶硅表面金属杂质含量测定 酸浸取-电感耦合等离子体质谱法
检测项目:表面金属杂质含量(钠、镁、铝、钾、钙、铬、铁、镍、铜、锌)
检测对象:多晶硅
GB/T 39145-2020
硅片表面金属元素含量的测定 电感耦合等离子体质谱法
检测项目:表面金属元素含量(钠、镁、铝、钾、钙、铬、锰、铁、钴、镍、铜、锌)
检测对象:硅片